新華社北京6月29日電(記者烏夢達、趙旭)“100年,中國‘芯'”。在慶祝中國共產(chǎn)黨建黨百年之際,北京航空航天大學科研工作者在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下這幾個字。這個厚度相當于一張普通打印紙的十萬分之一。
6月24日,在北京航空航天大學,集成電路學院科研人員在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“100年”。新華社記者鞠煥宗攝
磁性芯片生產(chǎn)過程中,需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓(制作硅半導體集成電路所用的襯底)上。確保所有晶圓完全“躺平”有多難?北航集成電路學院工藝與裝備系教師張學瑩表示,其相當于在北京的海淀區(qū)地面上均勻鋪滿5層厚的小米粒,且須完全平整,“因此,檢測薄膜的平整度尤為關鍵?!?/p>
張學瑩介紹,科研人員利用檢測儀器,通過微小的磁性針尖在薄膜上寫字,若字的顏色對比度一致、字跡清晰,則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測后,將納米薄膜制成器件,封裝后形成芯片。
6月24日,在北京航空航天大學,集成電路學院科研人員(前)在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“中國芯”。新華社記者鞠煥宗攝
該檢測儀器,正是由北航集成電路學院科研團隊研發(fā)的晶圓級磁光克爾測試儀。
北航集成電路學院工藝與裝備系主任王新河說,磁性芯片可作為高可靠的信息存儲模塊和高靈敏的磁信號傳感模塊,應用于飛機、衛(wèi)星的控制系統(tǒng),以及手機電子羅盤、汽車自動駕駛等領域。而磁性芯片生產(chǎn)過程中的磁性薄膜檢測這一關鍵技術,屬于我國長期被“卡脖子”的技術。
“對比國外同類設備,這臺儀器在測試精度和速度等方面進行了技術革新,實現(xiàn)了自主創(chuàng)新突破?!蓖跣潞诱f。
6月24日,在北京航空航天大學,集成電路學院科研人員在用磁性筆尖檢測納米薄膜的磁性。新華社記者鞠煥宗攝
據(jù)了解,該儀器現(xiàn)已應用于科研領域,且預計于今年10月在產(chǎn)業(yè)領域投入商用。
早在1993年,中國科學院科研團隊就用10個原子擺出“中國”字樣,標志著我國可自主實現(xiàn)原子操縱。如今,用于書寫“100年,中國‘芯’”的晶圓級磁光克爾測試儀,為具有百億元市場規(guī)模的磁性芯片產(chǎn)業(yè)提供設備支撐。
從“中國”,到“100年,中國‘芯’”,背后的科研突破成為我國高科技自主創(chuàng)新能力不斷提升、國家科技力量持續(xù)增強的一個縮影。
“作為科研一線的基層黨員,我覺得扎實搞研究、實現(xiàn)創(chuàng)新突破,便是我們對建黨百年最好的獻禮?!睆垖W瑩說。
(責任編輯:蔡文斌)