暑假里，上海大學(xué)微電子學(xué)院的十余位研究生格外忙碌，他們每周5天在上海微技術(shù)工業(yè)研究院的“超越摩爾”8英寸中試線實(shí)習(xí)，學(xué)習(xí)集成電路制造工藝、在導(dǎo)師指導(dǎo)下參與創(chuàng)新項(xiàng)目。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機(jī)時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年?！?英寸線一年的運(yùn)營(yíng)費(fèi)近1億元，工研院相當(dāng)于每年投入價(jià)值2000多萬(wàn)元的機(jī)時(shí)，用于微電子學(xué)院本科生和研究生的培養(yǎng)?！鄙虾Ｎ⒓夹g(shù)工研院首席技術(shù)官、上海大學(xué)微電子學(xué)院院長(zhǎng)古元冬博士說(shuō)。
古元冬帶教的博士研究生楊繼業(yè)感慨道：“我碩士是在德累斯頓工業(yè)大學(xué)讀的，德國(guó)大學(xué)非常重視產(chǎn)教融合，但我們學(xué)院的產(chǎn)教融合程度超過(guò)了德國(guó)大學(xué)?！?/p>
考核標(biāo)準(zhǔn)以產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向
上海大學(xué)微電子學(xué)院成立于2019年11月，由上海大學(xué)和上海微技術(shù)工研院共同發(fā)起，與中國(guó)科學(xué)院上海分院、嘉定區(qū)政府、集成電路創(chuàng)新型企業(yè)共建，面向集成電路產(chǎn)業(yè)?！霸谑形姓闹С窒?，我們正在全力打造準(zhǔn)工業(yè)化、國(guó)際化的一流微電子學(xué)院。”上海大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)張建華教授說(shuō)。
作為學(xué)院發(fā)起和共建單位，上海微技術(shù)工研院是一個(gè)連接科技界與產(chǎn)業(yè)界的平臺(tái)。這家新型研發(fā)機(jī)構(gòu)由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所創(chuàng)辦，致力于“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化。2017年9月，工研院的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線投入運(yùn)營(yíng)，成為國(guó)內(nèi)首條、國(guó)際領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）中試線?！靶酒圃焓侵袊?guó)大陸集成電路產(chǎn)業(yè)的一塊短板，我們學(xué)院要通過(guò)產(chǎn)教融合，培養(yǎng)一大批來(lái)之能戰(zhàn)的制造工藝人才?！惫旁硎?，工藝經(jīng)驗(yàn)的巨大商業(yè)價(jià)值，決定了工藝專家積累的經(jīng)驗(yàn)往往不會(huì)通過(guò)論文廣而告之。這就要求高校在高端工藝人才的培養(yǎng)模式和考核標(biāo)準(zhǔn)上不能“唯論文”，而是要以產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向，學(xué)生科研成果以用戶評(píng)價(jià)、市場(chǎng)檢驗(yàn)和第三方評(píng)價(jià)為主。
把工藝技能傳授給研究生
如今，十余位上大研究生在8英寸線學(xué)習(xí)、研發(fā)制造工藝。碩士研究生季宇成告訴記者：“我們組5個(gè)同學(xué)相當(dāng)于上班了，這里每天都有客戶送來(lái)的片子，需要做定制化工藝研發(fā)。師傅研發(fā)工藝時(shí)會(huì)抽出時(shí)間給我們講解，這些實(shí)用知識(shí)在教室里是很難學(xué)到的?！?/p>
季宇成所說(shuō)的師傅，是工研院的工藝工程師團(tuán)隊(duì)。他們都毫無(wú)保留地把工藝技能傳授給研究生，讓他們能早日上手，具備自主研發(fā)的能力。作為研究生導(dǎo)師，8英寸線副總經(jīng)理王詩(shī)男博士要求小季等同學(xué)每天晚上寫學(xué)習(xí)日志。完成各個(gè)區(qū)域的初步學(xué)習(xí)后，研究生要選擇一個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行深入研究?！拔覀儠?huì)在這里待到畢業(yè)，這樣不僅完成了碩士學(xué)業(yè)，還相當(dāng)于有了兩年的一線實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)?！奔居畛尚χf(shuō)，“這對(duì)找工作是非常有利的?！?/p>
舍得投入收獲創(chuàng)新成果
博士研究生楊繼業(yè)已在8英寸線工作一年，負(fù)責(zé)制備氮化鋁薄膜。將這種材料沉積到晶圓上后，可制造聲學(xué)傳感器、5G射頻芯片等器件。經(jīng)過(guò)一年摸索，他取得了技術(shù)突破。
取得技術(shù)突破的原因是什么？他做了一番對(duì)比：“我在德國(guó)讀碩士3年間，導(dǎo)師總共給我8片晶圓來(lái)研究工藝，但工研院一次性就給我25片晶圓。為了研發(fā)高質(zhì)量氮化鋁薄膜的生長(zhǎng)工藝，我已用掉200多片晶圓，終于找到了比較好的工藝窗口?！睋?jù)介紹，一片晶圓的成本是500—600元，工研院為了支持研究生參與創(chuàng)新項(xiàng)目，十分舍得投入，也因此收獲了創(chuàng)新成果。
作為在德國(guó)留學(xué)10年的海歸，楊繼業(yè)也為上大微電子專業(yè)的產(chǎn)教融合點(diǎn)贊?！斑M(jìn)入8英寸線后，我發(fā)現(xiàn)這里的工藝都是向研究生開放的。導(dǎo)師和工程師都很耐心地指導(dǎo)我們，讓我們很快成長(zhǎng)起來(lái)。”楊繼業(yè)說(shuō)，“沒(méi)想到在上大讀博士，可以與產(chǎn)業(yè)界聯(lián)系得這么緊密?！敝苽涑鰡螌拥X薄膜后，他打算研發(fā)雙層氮化鋁材料和5G射頻芯片，為產(chǎn)業(yè)界提供高質(zhì)量的集成電路材料和器件。（俞陶然）
（責(zé)任編輯：蔡文斌）
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