暑假里,上海大學(xué)微電子學(xué)院的十余位研究生格外忙碌,他們每周5天在上海微技術(shù)工業(yè)研究院的“超越摩爾”8英寸中試線實(shí)習(xí),學(xué)習(xí)集成電路制造工藝、在導(dǎo)師指導(dǎo)下參與創(chuàng)新項(xiàng)目。
今年6月,上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機(jī)時(shí)資助給上海大學(xué),用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐,為期5年?!?英寸線一年的運(yùn)營(yíng)費(fèi)近1億元,工研院相當(dāng)于每年投入價(jià)值2000多萬(wàn)元的機(jī)時(shí),用于微電子學(xué)院本科生和研究生的培養(yǎng)?!鄙虾N⒓夹g(shù)工研院首席技術(shù)官、上海大學(xué)微電子學(xué)院院長(zhǎng)古元冬博士說(shuō)。
古元冬帶教的博士研究生楊繼業(yè)感慨道:“我碩士是在德累斯頓工業(yè)大學(xué)讀的,德國(guó)大學(xué)非常重視產(chǎn)教融合,但我們學(xué)院的產(chǎn)教融合程度超過(guò)了德國(guó)大學(xué)?!?/p>
考核標(biāo)準(zhǔn)以產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向
上海大學(xué)微電子學(xué)院成立于2019年11月,由上海大學(xué)和上海微技術(shù)工研院共同發(fā)起,與中國(guó)科學(xué)院上海分院、嘉定區(qū)政府、集成電路創(chuàng)新型企業(yè)共建,面向集成電路產(chǎn)業(yè)?!霸谑形姓闹С窒?,我們正在全力打造準(zhǔn)工業(yè)化、國(guó)際化的一流微電子學(xué)院。”上海大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)張建華教授說(shuō)。
作為學(xué)院發(fā)起和共建單位,上海微技術(shù)工研院是一個(gè)連接科技界與產(chǎn)業(yè)界的平臺(tái)。這家新型研發(fā)機(jī)構(gòu)由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所創(chuàng)辦,致力于“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化。2017年9月,工研院的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線投入運(yùn)營(yíng),成為國(guó)內(nèi)首條、國(guó)際領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中試線?!靶酒圃焓侵袊?guó)大陸集成電路產(chǎn)業(yè)的一塊短板,我們學(xué)院要通過(guò)產(chǎn)教融合,培養(yǎng)一大批來(lái)之能戰(zhàn)的制造工藝人才?!惫旁硎?,工藝經(jīng)驗(yàn)的巨大商業(yè)價(jià)值,決定了工藝專家積累的經(jīng)驗(yàn)往往不會(huì)通過(guò)論文廣而告之。這就要求高校在高端工藝人才的培養(yǎng)模式和考核標(biāo)準(zhǔn)上不能“唯論文”,而是要以產(chǎn)業(yè)需求為導(dǎo)向,學(xué)生科研成果以用戶評(píng)價(jià)、市場(chǎng)檢驗(yàn)和第三方評(píng)價(jià)為主。
把工藝技能傳授給研究生
如今,十余位上大研究生在8英寸線學(xué)習(xí)、研發(fā)制造工藝。碩士研究生季宇成告訴記者:“我們組5個(gè)同學(xué)相當(dāng)于上班了,這里每天都有客戶送來(lái)的片子,需要做定制化工藝研發(fā)。師傅研發(fā)工藝時(shí)會(huì)抽出時(shí)間給我們講解,這些實(shí)用知識(shí)在教室里是很難學(xué)到的?!?/p>
季宇成所說(shuō)的師傅,是工研院的工藝工程師團(tuán)隊(duì)。他們都毫無(wú)保留地把工藝技能傳授給研究生,讓他們能早日上手,具備自主研發(fā)的能力。作為研究生導(dǎo)師,8英寸線副總經(jīng)理王詩(shī)男博士要求小季等同學(xué)每天晚上寫學(xué)習(xí)日志。完成各個(gè)區(qū)域的初步學(xué)習(xí)后,研究生要選擇一個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行深入研究?!拔覀儠?huì)在這里待到畢業(yè),這樣不僅完成了碩士學(xué)業(yè),還相當(dāng)于有了兩年的一線實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)?!奔居畛尚χf(shuō),“這對(duì)找工作是非常有利的?!?/p>
舍得投入收獲創(chuàng)新成果
博士研究生楊繼業(yè)已在8英寸線工作一年,負(fù)責(zé)制備氮化鋁薄膜。將這種材料沉積到晶圓上后,可制造聲學(xué)傳感器、5G射頻芯片等器件。經(jīng)過(guò)一年摸索,他取得了技術(shù)突破。
取得技術(shù)突破的原因是什么?他做了一番對(duì)比:“我在德國(guó)讀碩士3年間,導(dǎo)師總共給我8片晶圓來(lái)研究工藝,但工研院一次性就給我25片晶圓。為了研發(fā)高質(zhì)量氮化鋁薄膜的生長(zhǎng)工藝,我已用掉200多片晶圓,終于找到了比較好的工藝窗口?!睋?jù)介紹,一片晶圓的成本是500—600元,工研院為了支持研究生參與創(chuàng)新項(xiàng)目,十分舍得投入,也因此收獲了創(chuàng)新成果。
作為在德國(guó)留學(xué)10年的海歸,楊繼業(yè)也為上大微電子專業(yè)的產(chǎn)教融合點(diǎn)贊?!斑M(jìn)入8英寸線后,我發(fā)現(xiàn)這里的工藝都是向研究生開放的。導(dǎo)師和工程師都很耐心地指導(dǎo)我們,讓我們很快成長(zhǎng)起來(lái)。”楊繼業(yè)說(shuō),“沒(méi)想到在上大讀博士,可以與產(chǎn)業(yè)界聯(lián)系得這么緊密?!敝苽涑鰡螌拥X薄膜后,他打算研發(fā)雙層氮化鋁材料和5G射頻芯片,為產(chǎn)業(yè)界提供高質(zhì)量的集成電路材料和器件。(俞陶然)
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